博瑞电子

您现在的位置:首页 >> 产品与服务 >> 产品 >> 电子气体 >> 蚀刻清洗系列 >> 三氯化硼
产品与服务
产品中心
  • 产品名称: 三氯化硼
  • 英文名称: Boron Trichloride
  • CAS No.: 10294-34-5
  • 分子式: BCl3
  • 分子量: 117.17
  • 规格: 99.999%
  • 临界温度: 178.85℃
  • 临界压力: 38.7bar
  • 熔 点: -107.3℃
  • 沸 点: 12.4℃
  • 稳定性: 稳定
  • 主要用途: 用于( 硅 )半导体器件制造工艺中的扩散、掺杂、离子注入