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  • 产品名称: 乙硅烷
  • 英文名称: Disilane
  • CAS No.: 1590-87-0
  • 分子式: Si2H6
  • 分子量: 62.22
  • 规格: 99.998%
  • 临界温度: 158.85℃
  • 临界压力: 51.3bar
  • 熔 点: -132.6℃
  • 沸 点: -14.3℃
  • 稳定性: 暴露在空气中会自燃,遇许多物质会发生剧烈反应或爆炸
  • 主要用途: 非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相淀积。