博瑞电子

您现在的位置:首页 >> 产品与服务 >> 产品 >> 电子气体 >> 成膜系列 >> 锗烷
产品与服务
产品中心
  • 产品名称: 锗烷
  • 英文名称: Germane
  • CAS No.: 7782-65-2
  • 分子式: GeH4
  • 分子量: 76.63
  • 规格: 99.999%
  • 临界温度: 34.85℃
  • 临界压力: 34.85℃
  • 熔 点: -165.98℃
  • 沸 点: -88.5℃
  • 稳定性: 稳定
  • 主要用途: 化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入。