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  • 产品名称: 六氟化钨
  • 英文名称: Tungsten hexafluoride
  • CAS No.: 7783-82-6
  • 分子式: WF6
  • 分子量: 297.8
  • 规格: 99.999%
  • 临界温度: 169.8℃
  • 临界压力: 4265.8kPa
  • 熔 点: 2.3℃
  • 沸 点: 17.5℃
  • 稳定性: 稳定
  • 主要用途: 主要用作电子工业中金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料,还可用作半导体电极和导电浆糊等的原材料。