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  • 产品名称: 三氯氢硅
  • 英文名称: Trichlorosilane (TCS)
  • CAS No.: 10025-78-2
  • 分子式: SiHCl3
  • 分子量: 135.43
  • 规格: 99.95%
  • 临界温度: 205.85℃
  • 临界压力: 41.78bar
  • 熔 点: -134℃
  • 沸 点: 31.8℃
  • 稳定性: 稳定
  • 主要用途: 生产半导体硅、单晶硅的原料