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  • 产品名称: 二氯二氢硅
  • 英文名称: Dichlorosilane(DCS)
  • CAS No.: 4109-96-0
  • 分子式: SiH2Cl2
  • 分子量: 101.01
  • 规格: 99.9%
  • 临界温度: 185.85℃
  • 临界压力: 45.9bar
  • 熔 点: -122.0℃
  • 沸 点: 8.3℃
  • 稳定性: 稳定
  • 主要用途: 电子气、外延、化学气相淀积