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  • 产品名称: 磷烷混合气体
  • 英文名称: Phosphine Mixtures
  • 分子式: PH3
  • 规 格: 5ppm、100ppm,1%-10%,可定制
  • 平衡气: H2. N2. He
  • 用 途: 半导体掺杂