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  • 产品名称: 二(二乙基氨基)硅烷
  • 英文名称: Bis(diethylamino)silane(BDEAS)
  • CAS No.: 27804-64-4
  • 分子式: C8H22N2Si
  • 分子量: 174.36
  • 规 格: 2N5(ICP-MS 5N)
  • 沸 点: 188℃
  • 闪 点: 30℃
  • 熔 点: -10℃
  • 火灾分类: 甲类
  • 物理状态/颜色: 液体/无色
  • 应 用: 电子材料化学气相沉积和原子层沉积的前体材料