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六氯乙硅烷
  • 产品名称： 六氯乙硅烷
  • 英文名称： Hexachlorodisilane（HCDS）
  • CAS No.： 13465-77-5
  • 分子式： Si2Cl6
  • 分子量： 268.89
  • 规　格： 2N5(ICP-MS 5N)
  • 沸　点： 144-146 ℃
  • 闪　点： 84.5℃
  • 熔　点： -1℃
  • 火灾分类： 甲类
  • 物理状态/颜色： 液体/无色
  • 应　用： 电子材料化学气相沉积和原子层沉积的前体材料

下载附件： 六氯乙硅烷（Safety Data Sheet）