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产品名称:
六氯乙硅烷
英文名称:
Hexachlorodisilane(HCDS)
CAS No.:
13465-77-5
分子式:
Si2Cl6
分子量:
268.89
规 格:
2N5(ICP-MS 5N)
沸 点:
144-146 ℃
闪 点:
84.5℃
熔 点:
-1℃
火灾分类:
甲类
物理状态/颜色:
液体/无色
应 用:
电子材料化学气相沉积和原子层沉积的前体材料
下载附件:
六氯乙硅烷(Safety Data Sheet)