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  • 产品名称: 三(二甲基氨基)硅烷
  • 英文名称: Tris(dimethylamino)silane(3DMAS)
  • CAS No.: 15112-89-7
  • 分子式: C6H19N3Si
  • 分子量: 161.32
  • 规 格: 3N(ICP-MS 5N)
  • 沸 点: 142℃
  • 闪 点: -8.89℃
  • 熔 点: -90 ℃
  • 火灾分类: 甲类
  • 物理状态/颜色: 液体/无色至浅黄色
  • 应 用: 电子材料化学气相沉积和原子层沉积的前体材料