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  • 产品名称: 三硅基氮烷
  • 英文名称: TriSylamine(TSA)
  • CAS No.: 13862-16-3
  • 分子式: Si3H9N
  • 分子量: 107.30
  • 规 格:
  • 沸 点: 52℃
  • 闪 点:
  • 熔 点: -106℃
  • 火灾分类: 甲类
  • 物理状态/颜色: 液体/无色
  • 应 用: 电子材料化学气相沉积和原子层沉积的前体材料