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  • 产品名称: 乙硅烷
  • 英文名称: Disilane
  • CAS No.: 1590-87-0
  • 分子式: Si2H6
  • 分子量: 62.22
  • 规 格: 3N
  • 沸 点: -14.3℃
  • 闪 点:
  • 熔 点: -132.6℃
  • 火灾分类: 甲类
  • 物理状态/颜色: 液体/透明
  • 应 用: 电子材料化学气相沉积和外延成长的前体材料